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旋轉工作臺
重復精度(徑向) (0.02+3.8H/10000)um
重復精度(軸向) (0.02+3.8R/10000)um
H為測量高度(mm),R為測量半徑(mm)
轉速 2,4,6,10rpm
工作臺有效直徑 φ
大調心幅度 ±
大調水平幅度 ±1°
大測量直徑 φ
大工件直徑 φ
大工件重量
垂直軸(Z軸)
垂直移動
直線度( 2.5) 0.12um/
與轉臺軸平行度 0.7um/
定位速度 大
測量速度 0.5,1,2,
大檢測高度
大檢測深度
水平臂(X軸)
水平移動
直線度( 2.5) 0.7um/
水平移動 1.0um/
定位速度 利用操縱桿,大
測量速度 0.5,1,
測針和測頭
測量范圍 ±400um(±
測力 7-10mN(5級)
標準測頭 12AAB681、硬質合金球、φ
測量方向 雙方向
測頭角度調整 ±45°(帶刻度)
數據分析系統
分析軟件 ROUNDPAK
用于圓度評估的
參考圓 LSC,MZC,MIC,MCC
濾波類型 2CRPC-75%,2CRPC-50%,2CRPC-75%(相位校正),2CR-50%(相位校正)
、高斯濾波器、濾波器關斷
截止值 15upr,50upr,150upr,500upr,1500upr,15-150upr,15-500upr,15-1500upr,50-500upr,50-1500upr,150-1500upr,手動設定
供氣
氣壓 390kpa
耗氣量
電源 100V AC-240V AC,50/60Hz